北京四探针电阻率测试仪

四探针电阻率测试仪  方块电阻测定仪

型号：SN/KDY-1

北京四探针电阻率测试仪是我公司严格按照硅片电阻率测量的标准（ASTM F84）及国家标准设计制造，并针对目前常用的四探针电阻率测试仪存在的问题加以改进。

整套仪器有如下特点：

1、北京四探针电阻率测试仪 配有双数字表：一块数字表在测量显示硅片电阻率的同时，另一块数字表（以万分之几的精度）适时监测全过程中的电流变化，使操作更简便，测量更精确。 数字电压表量程：0—199.99mV 灵敏度：10μV 输入阻抗：1000ΜΩ 0—9.999mV 灵敏度：1μV 输入阻抗：10ΜΩ 基本误差±(0.04-0.05%读数+0.01%满度)

2、  可测电阻率范围：0.001—6000Ω?cm。

3、 设有电压表自动复零功能，当四探针头1、4探针间未有测量电流流过时，电压表指零，只有1、4探针接触到硅片，测量电流渡过单晶时，电压表才指示2、3探针间的电压（即电阻率）值，避免空间杂散电波对测量的干扰。

4、  流经硅片的测量电流由高度稳定（万分之几精度）的特制恒流源提供，不受气候条件的影响。 电流量程分五档：10μA、100μA、1mA、10mA、100mA。

5、 仪器采用触点电阻更低（＜5mΩ）、使用寿命更长的转换开头及继电器（＞10万次），在绝缘电阻、电流容量方面留有更大的安全系数，提高了测试仪的可靠性和使用寿命。

6、 可加配HQ-710E微处理机及打印机，实现自动换向测量、求平均值，计算并打印电阻率 大值、 小值、 大百分变化率、平均百分变化率等内容。

7、 四探针头采用上*的红宝石轴套导向结构，使探针的游移率减小，测量重复性提高（*局已于2005.02.02授予权，号：ZL03274755.1）。